此能遍计的心与所遍计的境，皆依他起，而心缘境时，于触缘所缘之中，妄执实有我法自计，此即名为遍计所执。此所妄计的我法等类，只不过是迷情所现的虚妄相，但有假名无有实体。如《大智度论》说：“谓随言说依假名言，建立自性。”《唯识三十颂》说：“由彼彼遍计，遍计种种物，此遍计所执，自性无所有。”如黑暗中见绳，误以为是蛇，此蛇毕竟不存在，不过是恐怖心中所现的妄相，无有实体，是情有理无。
2.依他起性：梵文ParatantraSvabhāva。又作依他起相、缘起自性、因缘法体自相相。即指由各种缘所生起之法。因为是“缘合则生，缘尽则灭”之法，故如虚如幻，而非固定永远不变之实在，故说“如幻假有”、“假有实无”，然此并非遍计所执而有之迷情，而系借种种助缘而生者，亦即离妄情而自存之“理有情无”。依者依托，他者众缘，起者生也。色心诸法依托众缘而生起，故名依他起。诸法皆因缘所生故，唯是无实性的假法，故实有假无。如了知为绳，蛇觉不存。《唯识三十颂》云：“依他起自性，分别众缘生。”所谓分别，即虚妄分别，杂染诸法皆依他起。故此依他起性乃属有为之法，在五位百法中，除六无为法外，其他九十四法皆摄于此性之中。
依他起性又可分为染分、净分二种：（1）染分依他，指虚妄分别之缘而生起的有漏杂染之诸法。（2）净分依他，指依圣智之缘而生起的无漏纯净之法。其中，若就别义而言，净分依地亦摄唯识三性之第三“圆成实性”中，故此中唯说染分依他。
3.圆成实性：梵文Parinis·panna。又作圆成实相、圆成自性、第一义谛体性。依他起性的真实之体（真如）乃遍满一切法（圆满）、不生不灭（成就）、体性真实（真实）者，故称名为“圆成实”。故圆成实性就具有这三种性质：（1）圆满，诸法之相仅局限于其自身之法体，不通余处；相对于此，真如之妙理则可周遍四处。（2）成就，诸法具有空、无常、无我等共相；而真如之实体常住，无生灭作用。（3）真实，诸法之体虚妄不真；而真如之性常住遍通。
为解释圆成实性，又设有二门：（1）常无常门，“常”为圆成实之名，“无常”则摄于依他起性而不离生灭。（2）漏无漏门，“无漏”为圆成实之名，“有漏”则摄于依他起性而不颠倒。《唯识三十颂》云：“圆成实于彼，常远离前性。”前性即是前面的遍计所执性，此圆成实性于诸法上常远离众生的虚妄执著。如分析绳，了知为麻，绳觉亦灭。百法中的六个无为法，都是圆成实性。无漏有为是清净的依他起，圆成实性具足的三种性质，故为“真空妙有”；又此性仅能由觉悟真理智慧而得知，故为“理有情无”。
以上三性具有不即不离之关系。唯识学经典中常以蛇、绳、麻三物为喻，则愚人（能遍计）于黑暗中见绳，信以为真蛇（实我相之遍计所执性），遂心生恐怖；后经觉者（佛、菩萨）教示，而知非蛇（生空），仅为似蛇之绳（指依他起性之假有）。且更进一步了解实际所执之绳（实法相之遍计所执性）亦不具实体之意义（法空），其本质为麻（圆成实性）；绳（依他起性）仅为因缘假合，由麻而成之形态。
针对三性而建立“三无性”说。三无性，梵文trividhānih·svabhāvata。乃根据佛之密意所立，即基于三性之说，又恐众生执有，故显示三性各具空义。又作三种无自性、三无自性、三种无性。据《成唯识论》卷九，三无性即：
1.相无性：梵文laks·an·anih·svabhāvata。全称为相无自性性，或称诸法无自体相。此系就遍计所执性而论空者。盖遍计所执之法，乃所谓情有理无，虽在迷情上为有，唯是当情所现之相而已。犹如龟毛兔角，于实理上，其体相乃属空无。《解深密经》云：“由假名安为相，非由自相安立为相，是故说无相自性。”故名相无自性。
2.生无性：梵文utpattinihsvabhāvata。亦作无生性、诸法无生体性、生无自性。是依依他起性而立。生，缘生之义；依他起性之法由因缘和合而生，为假有之法，实无自性。或谓生乃自然生，即外道凡夫妄执于诸法自然而生，为明示依众缘和合而生实无自性，故称名生无自性。《解深密经》云：“此由依他缘力故，非自然有，是故说无生性。”《成唯识论》卷九亦云：“依他立生无性，如幻事托众缘生，无如妄执自然性，故假说生无自性，非性全无。”
3.胜义无性：梵文paramārthanih·svabāvatā。又称胜义无自性性、无真性、第一义谛无自体相。乃针对圆成实性而立。真如为殊胜之真理，亦为根本无分别智之对境，故称胜义。谓由远离前遍计所执“我、法”性故，假说无性，非性全无。此即真如，亦即唯识实性。
此三无性被视为“密意说”，而非“了义”，因三自性中之后二自性，其性非无；今假说其无性者，是为否定世俗所执持之“实性”。生无性、胜义无性乃针对依他起性、圆成实性而说，故其体不能谓为空无。关于此二性依据何种观点而说无性，日本法相宗有二说。据南寺所传，其体非无，但因离法我二执，故说意为无执（执空）；据北寺所传，依他起性之体如幻，圆成实性之体离相，由此观点而言，可谓是虚假空、空寂空。故知二性之体乃超越有无之无（体空）。又生无性之“生”，南寺所传指自然生，而北寺所传则解为缘生之意。
由以上三性三无性之说，而立“非有非空”之中道，即三性具有不即不离之关系，其中遍计所执性是情有理无，依他起性、圆成实性是理有情无，故合三性而明中道，是为三性对望中道。三性对望中道是言诠中道，与一法中道相对。即就遍计所执性、依他起性、圆成实性之对望所立之中道义。法相唯识宗认为，以遍计所执为妄情，故判为空；以依他起性为众缘和合，故判为假有；以圆成实性为真实如常，故判为真空妙有。若此三性为一法上之三性，则其法即为非有非空之中道；反之，若各就其一性立中道之义则称一法中道。因为若详论之，则三性中之每一性皆具有中道之义，也就是说遍计所执性是情有理无，在妄情之上属有，故非空；依理而言无，故非有，是为非有非空之中道。依他起性于众缘和合上为假之存在，故为假有实无。以其假有，故非空；以其实无，故非有，是为非有非空之中道。圆成实性远离一切妄想而无相，故非有；然以其为真实如常之性，故非空，是为非有非空之中道。此乃各就三性中之一性，立中道之义，故称为一法中道。或谓一法中道系依三性对望而圆成实性之体，于依他起性上成为一法，而于一色一香上谈论中道之理。故《百法问答抄》卷八谓，三性对望中道之外，无一法中道之义。
关于三性与诸法的关系，可分为十二门解释，但在唯识学中，主要的是：
六无为与三性的相摄：五位百法中，最后一位是无为法，有六种，即：虚空、择灭、非择灭、不动、想受灭、真如等无为。此六无为法属于三性的“何性”所“摄”？这是三性皆可容摄的。怎知三性皆摄六种无为？据《成唯识论》卷九云：“心等变似虚空等相随心生故依他起摄；愚夫于中妄执实有此即遍计所执性摄；若于真如假施设有虚空等义圆成实摄。有漏心等定属依他，无漏心等容二性摄，众缘生故摄属依他，无颠倒故圆成实摄。”这是谓：如曾听说过虚空等的无为之名，在脑海中潜存着，并不时的分别有虚空等相。由于经常这样，数数串习的力量，于是就在“心等”生起的时候，“变”现“似虚空等”无为“相”。此所现相，前后相似，没有变易，假说为常。正因虚空等六无为，是“随心”分别缘所“生”的，所以属于“依他起摄”。可是愚痴凡夫，不知道它是心识之所变似，而于其“中妄执”以为“实有”，当知“此即”属于“遍计所执性摄”。假“若于真如”上，“假施设有虚空等义”，当知这就属于“圆成实摄”。如就有漏无漏心解释，假定是“有漏心等”之所变现的虚空等无为，那就决“定”属于染“依他”起；假定是“无漏心等”之所变现的虚空等无为，那就“容”可为依他，圆成“二性”所“摄”。这意思是说，如果是清净“众缘”和合所“生”的，那就属于清净“依他”起；由于是“无”有“颠倒”的，所以属于“圆成实摄”。
